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PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

簡要描述:PCE-44是一款小型紫外臭氧清洗機,可用於清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表麵潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、幹燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵

產品型號:

所屬分類:臭氧清洗機

更新時間:2019-10-24

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

PCE-44是一款小型紫外臭氧清洗機,可用於清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表麵潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、幹燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。(更新時間:2018.8.17--XI)

技術參數
電源

 

● 220V 50/60HZ

 

紫外燈

 

● UV燈管

● 功率:55W

● 發出光的波長:波長254nm+185nm

● 使用壽命:6000h小時

● 照射區域:100 x 100 mm

● 光照強度:4.6 mw/cm2

1

 

腔體

 

● 抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm

● 標配高純石英片用於盛放樣品,避免汙染

1

 

應用

 

● 去除分子級別的汙染物

● 紫外光固化粘合劑

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表麵消毒

● 刻蝕

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

 

環境要求

 

● 僅室內使用; 海拔高度在5,562英尺以內

● 溫度範圍41-104華氏度

● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度

● 主電源波動不超過標稱電壓的10%

● 汙染等級2; 臭氧水平(環境)測量<45 ppb

 

外形尺寸

 

● 240mm*200mm*165mm

1

 

淨重

 

4公斤

 

認證

 

CE認證

 

質保期

 

● 一年保修,終身技術支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修範圍內。

● 點擊查看售後服務承諾書。

 

免責聲明

 

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