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PCE-22 紫外臭氧清洗機

PCE-22 紫外臭氧清洗機

簡要描述:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設備可用於清洗各種基片,為製作高質量的薄膜打好基礎。特別適合移除光刻膠,改善表麵潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。

產品型號:

所屬分類:臭氧清洗機

更新時間:2019-10-24

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

紫外臭氧清洗提供了一種無酸、幹燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

技術參數
主要參數

 

● 功率:大350W

● AC 208~240V,單相 50/60Hz

 

應用

 

● 去除分子級別的汙染物

● 紫外光固化粘合劑

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表麵消毒

● 刻蝕

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

 

紫外燈

 

● 可發出雙波長的水銀燈

● 功率:55W

● 發出光的波長:254 nm 和 185 nm

● 使用壽命:2500 小時(可更換)

● 照射區域:200 x 200 mm

1

 

腔體&樣品台

 

● 不鏽鋼殼體

● 抽屜式樣品台,以便放樣取樣

● 樣品台麵積310 mm x 320 mm

● 臭氧通風裝置安裝在腔體上

● 樣品台與紫外燈的距離:20mm-40mm(可調)

● 樣品台可以加熱,MAX溫度可達150℃

● 可設置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

● 設備運行時間:0.01 秒- 99.9小時

1

 

排氣口

 

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器後端

● 請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外

● 儀器中不包含橡膠管

1

 

環境要求

 

● 僅室內使用; 海拔高度5500英尺以內

● 溫度範圍:41-104華氏度

● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度

● 主電源波動不超過額定電壓的10%

● 汙染等級2; 臭氧水平(環境)測量<45 ppb

 

外形尺寸

 

● 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

1

 

淨重

 

28kg

 

認證

 

CE認證

 

質保期

 

● 一年保修,終身技術支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修範圍內。

● 點擊查看售後服務承諾書。



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